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某开发区拟建设一集成电路项目，项目规模为建设8英寸0.35～0.18μm芯片（月

admin2022-08-02  40
问题 某开发区拟建设一集成电路项目，项目规模为建设8英寸0.35～0.18μm芯片（月投产4000片）；12英寸（3.048cm）先进制程线，0.13～0.09μm芯片（月投产4000片）。本项目建设两年，试生产期两年，总投资110亿元。评价区域内环境空气和地下水环境质量本底较好，不存在超标现象。该项目建设符合当地的工业发展规划和城市发展规划。本项目的技术发展和集成电路制造的重点将以互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺为主。芯片生产工序主要有外购硅片清洗、氧化、光刻、蚀刻、扩散、离子植入、化学气相沉积、金属化、后加工等。　　根据上述资料，回答下列问题。1.简述该项目建设与相关产业政策的符合性分析。2.确定该项目大气预测因子和水评价因子。3.确定该项目的固体废物评价因子和土壤评价因子。4.本项目所使用的化学品基本上分为腐蚀性、易燃品、有毒气体及毒害品等，那么这些物质在发生事故时会有什么影响？5.该项目气态污染物HF的卫生防护距离计算值为35m，则在评价时该项目卫生防护距离应定为多少？
选项
答案
解析 1.（1）“线宽1.2μm以下大规模集成电路设计制造”列入《产业结构调整指导目录（2005年本）》中的鼓励类，是当前国家重点鼓励发展的产业。
　　（2）2001年11月，国家发展计划委员会和科学技术部颁发的《当前优先发展的高技术产业化重点领域指南》第17条规定，近期产业化的重点是：以加强集成电路设计为重点，积极支持集成电路设计和整机开发相结合，设计开发市场需求较大的整机产品所需的各种专用集成电路和系统级芯片，线宽0.18μm以下的深亚微米集成电路及配套的IP库。扩大集成电路生产加工和封装能力，提高工艺技术水平，扩大产品品种和生产规模；积极鼓励国内外有经济实力和技术实力的企业以及投资机构在国内建立国际先进水平的集成电路芯片生产线，提高我国的集成电路生产技术水平。
　　（3）根据本项目产品方案，符合国家产业政策。
2.（1）大气预测因子有：氟化物（HF）、HCl、硫酸雾、Cl2、NH3、非甲烷总烃和NOx；
　　（2）水评价因子有：pH、COD、BOD5、SS、F-、NH3-N、TOC和AOX（可吸收有机卤化物）。
3.（1）固体废物评价因子有：水处理中的污泥、生产过程中产生的废溶剂、废酸、废异丙醇等物质以及生活垃圾等；
　　（2）土壤评价因子有：砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W）。
4.　项目使用的化学品在正常使用过程中经过一定的化学反应和处理后排放，一般对周围环境和人体造成的影响可以控制在允许范围内。如果发生泄漏或报警系统失灵产生事故时，就有可能产生意想不到的事故。
　　（1）腐蚀性化学品泄漏会对周围环境和人员造成腐蚀污染，同时会影响周围空气环境质量，严重时会危及人们生命；
　　（2）易燃气体或液体泄漏可能造成火灾或爆炸；
　　（3）有毒气体泄漏会直接影响到周围地区人员的健康乃至生命安全，毒害品管理不严可能会直接威胁人们的生命以及社会的稳定等。
5.按卫生防护距离的相关规定，当卫生防护距离在100m以内时，级差为50m，在评价时建议项目卫生防护距离为50m。
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